多晶硅活化干燥器的设计
多晶硅是极为重要的优良半导体和光伏材料,在生产工艺过程中需要使用活化干燥器除去原料、半成品中的水分或溶剂。这对提炼高纯度的多晶硅具有重要意义。此次设计主要利用多晶硅同氢气的活化反应进行提纯。本课题将利用UG10.0为设计平台,根据场地、产量的要求得到其基本结构尺寸,绘制其三维结构设计图。然后进行主要部件得强度校核,最后再进行无损检测、气密实验、液压实验。本课题设计出一台立式多晶硅活化干燥器,具有重大意义,不仅减少了占地面积,而且提高了产量,推动了这个设备的参数化实现,近而缩短了设计周期,减少了设备的设计成本。而且此次设计的产品已经投入生产,所以设计很成功。关键词多晶硅,干燥器,生产工艺,设计
目录
第一章 绪论.........................................................1
1.1干燥技术的概况................................................1
1.1.1干燥装置的特性............................................2
1.1.2被干燥物料的特性..........................................2
1.1.3干燥技术的发展............................................3
1.2干燥设备概述..................................................4
1.2.1干燥的定义及原理..........................................4
1.2.2干燥器的分类..............................................4
1.3课题研究的目的及意义..........................................4
1.4主要研究内容..................................................4
第二章 活化干燥器的设计以及三维 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: ¥351916072$
建模.................................5
2.1多晶硅的生产工艺..............................................5
2.2多晶硅活化干燥器的材料选择....................................5
2.3多晶硅活化干燥器的选型方案....................................6
2.3.1干燥物料要达到其质量指标..................................6
2.3.2所选方案涉及干燥器的能量的计算............................6
2.3.4活化干燥器的性能特点......................................7
2.4多晶硅活化干燥器设计方案......................................7
2.4.1活化干燥器概述............................................7
2.4.2多晶硅活化干燥器的整体设计方案............................8
2.5多晶硅活化干燥器的具体设计....................................9
2.5.1干燥器圆柱筒体的设计和计算................................9
2.5.2计算筒体壁厚.............................................12
2.5.3筒体的长度计算...........................................13
2.5.4膨胀节的三维设计.........................................14
2.5.5封头的设计...............................................15
2.5.6法兰的选择...............................................16
2.5.7支座的选择...............................................18
2.5.8内部分布板的设计.........................................19
2.5.9风帽的设计...............................................20
2.5.10人孔的设计..............................................21
2.5.11三维总体装配图..........................................22
2.6多晶硅活化干燥器的检测.......................................24
2.6.1无损检测.................................................24
2.6.2气密试验.................................................24
2.6.3液压实验.....................................................24
结论...............................................................25
目录
第一章 绪论.........................................................1
1.1干燥技术的概况................................................1
1.1.1干燥装置的特性............................................2
1.1.2被干燥物料的特性..........................................2
1.1.3干燥技术的发展............................................3
1.2干燥设备概述..................................................4
1.2.1干燥的定义及原理..........................................4
1.2.2干燥器的分类..............................................4
1.3课题研究的目的及意义..........................................4
1.4主要研究内容..................................................4
第二章 活化干燥器的设计以及三维 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: ¥351916072$
建模.................................5
2.1多晶硅的生产工艺..............................................5
2.2多晶硅活化干燥器的材料选择....................................5
2.3多晶硅活化干燥器的选型方案....................................6
2.3.1干燥物料要达到其质量指标..................................6
2.3.2所选方案涉及干燥器的能量的计算............................6
2.3.4活化干燥器的性能特点......................................7
2.4多晶硅活化干燥器设计方案......................................7
2.4.1活化干燥器概述............................................7
2.4.2多晶硅活化干燥器的整体设计方案............................8
2.5多晶硅活化干燥器的具体设计....................................9
2.5.1干燥器圆柱筒体的设计和计算................................9
2.5.2计算筒体壁厚.............................................12
2.5.3筒体的长度计算...........................................13
2.5.4膨胀节的三维设计.........................................14
2.5.5封头的设计...............................................15
2.5.6法兰的选择...............................................16
2.5.7支座的选择...............................................18
2.5.8内部分布板的设计.........................................19
2.5.9风帽的设计...............................................20
2.5.10人孔的设计..............................................21
2.5.11三维总体装配图..........................................22
2.6多晶硅活化干燥器的检测.......................................24
2.6.1无损检测.................................................24
2.6.2气密试验.................................................24
2.6.3液压实验.....................................................24
结论...............................................................25
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