镀膜线拆机维修与保养
目录
引言 1
一、镀膜线维护 2
（一）目的 2
（二）镀膜线维护操作步骤 2
（三）镀膜维护的重要性 2
二、拆装 2
（一）拆装门 2
（二）拆装上、下侧挡板 2
三、镀膜机的打磨与清洁 3
（一）板喷砂打磨 3
（二）框架的清洁与维护 3
（三）气管清洁维护 3
（四）真空室内部清洁 3
（五）靶拆装与清洁 4
四、传动链条调整 5
五、观测孔玻璃更换与旋片泵泵油更换及罗茨泵加油 5
（一）观测孔玻璃更换 5
（二）旋片泵泵油更换及罗茨泵加油 6
六、镀膜机内部清洁维护 6
（一）阀的清洁与维护 6
（二）分子泵的清洁与维护 6
（三）清洗机清洁维护 7
七、 G-61镀膜生产线镀膜玻璃脱膜针孔故障分析及解决方案 8
（一）清洗机故障 8
（二）解决方案 8
总结 9
参考文献 10
谢辞 11
引言
进入21世纪以来，随着国家节能政策的推行以及节能观念深入人心，所以国内镀膜玻璃的产量直线上升。但是工厂为了使产量最大化就不停使用镀膜线，使得镀膜线在一定程度上受到损坏，所以我们必须在规定的周期内对镀膜线进行维护和保养，使其能正常工作不会降低产品的指令与数量。
课程设计就是以镀膜线维护和保养为核心，详细的介绍维护的各个步骤。
一、镀膜线维护
（一）目的
为了生产镀膜线能正确、安全地开展维护，同时确保镀膜 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: 3 5 1 9 1 6 0 7 2
线维护工作能正常稳定进行，生产出符合工艺要求的产品，如图1-1所示。
（二）镀膜线维护操作步骤
拆装门，拆装上、下侧挡板，镀膜机的打磨与清洁，气管清洁维护，传动链条调整，阀的清洁维护，玻璃更换与旋片泵泵油更换以及罗茨泵加油，镀膜机内部清洁维护。
（三）镀膜维护的重要性
镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
1-1 镀膜机
二、拆装
（一）拆装门
1.拆前确认门内水包冷却水阀巴处于关闭状态，且水管已被拆开。
2.先将行车吊环锁住门上边缘两孔，确认吊环螺丝已拧牢，再将行车调整至适当状态。
3.松掉真空室上固定门的螺丝，将压块于螺丝放于指定地点。
4.将行车缓缓升高，确定已离开底座后行车向东走，将门吊离真空室。
5.将门吊下放置于木板底座上，松掉吊环螺丝，在重复进行1-5步骤。
6.装门过程与之相反。
7.装门时应检查腔室内是否清洁，门内密封圈是否清洁，真空室密封是否清洁，且用酒精布将之擦拭干净后方可装门。
8.注意事项：操作行车者应注意周围环境，防止人员受伤，周围人也应该提高警惕避免自己及他人受伤。门走向真空室注意控制行车速度，严禁门面一真空室密封面有猛烈撞击。
（二）拆装上、下侧挡板
1.拆上、下挡板与拆普通设备一样，松掉螺丝将零件拆下即可。装板应从上往下拆，从下往上装。
2.装侧板时，每次阳极水包包螺丝应蘸上二硫化钼以防螺丝过紧而卡死，垫片需用大号垫片。且所有螺丝需拧紧至20N/M(扭力扳手），拧紧即可，不可宁得过死。
3.装板时注意不能硬碰靶筒及水包，以防靶筒擦伤，水包漏水。
4.所有配件需原装配件，严禁私自使用非原厂配件，如需使用，需经过经理评估同意方可。
三、镀膜机的打磨与清洁
（一）板喷砂打磨
1.将所有侧板、上下挡板、阴阳极板拖至喷砂房。
2.用喷砂机喷砂至板表面无明显溅镀层，且用万用表检查导电性良好。
3.如表面有结块且用喷砂机喷不掉的部分，用手磨机金刚砂轮片将其磨干净。干净程度以万用表测试结果0-500欧姆为准。
4.喷砂打磨后的板用风枪吹干净且经过酒精擦拭干净后方可装入真空室。
5.喷砂完后清洁喷砂房。
6.注意事项：喷砂打磨过程做好人员防护，特别是使用手磨机时注意自身以周围人员安全；打磨人员应佩戴好防躁耳塞。
（二）框架的清洁与维护
1.每班停机维护时应将框架完全清洁，包括上铝板，下铝板，中间不锈钢支撑条。
2.框架清洁项目包括各零件上的镀层以及其它脏污。可用砂纸、小铲、打磨机等进行打磨，打磨完成后用万用表测试其它所有部分是否绝缘。
3.检查框架各零件是否松动，如遇松动应及时紧固。
4.清洁好的框架进入真空室前应检验磁铁是否在磁道中间，如遇磁铁紧贴磁道，严禁将其放入真空室。
5.平时生产时，装片前生产人员必须在生产前检查框架是否干净，是否有螺丝松动，前端磁铁是否在磁道中间。保证框架清洁，螺丝紧固，且磁铁未贴着磁道边缘。整个框架未有突出部分。如框架有较大异常，及时将框架抬下并通知设备人员进行维修。
6.如有框架上有脏污，在装片前将其清理干净。如遇螺丝松动等小问题，生产线人员应及时自行处理。
（三）气管清洁维护
1.气管清洁维护包括钢管，塑料软管，等与之相关的管路。
2.每次开门后检查铜管是否烧断，出气孔是否出气通畅，均匀，每次换铜管后检查气管头部密封圈是否清洁，铜管与流量计是否对应。
3.拆门后对铜管及不锈钢板进行清洁。
（四）真空室内部清洁
1.真空室内部溅射时间久后会导致阳极消失，真空室内部也有挡板未挡住的部分，时间长后会有镀层。如图3-1所示。
2.拆门后对阳极进行打磨，打磨好后用万用表进行检查。
3.打磨后用酒精将真空室擦拭干净方可关门。
3-1 真空室
（五）靶拆装与清洁
1.旋转靶筒
拆旋转靶筒时应注意将靶头锁扣拧牢后方可进行，吊靶过程中行车上升应缓慢上升，行车操作者应注意自身及周围人员安全。靶筒吊上后如是硅靶，应先将表面包一层保鲜膜或保护膜，以免其在维护过程中造成脏污。靶筒两头及铝套铜长时间溅射后会有一层较厚的溅射物，可用手动打磨机配以打磨片进行清理，清理完成后的靶筒应表面光滑且导电性良好。靶筒底下将特氟龙底座每次吊靶后应将其用砂纸清理干净。靶筒吊上后应先通水检查靶筒是否漏水，无误后再将靶完全放下。锁靶筒螺丝前先检查靶头下面特氟龙块是与密封圈，确保其干净后方可将螺丝锁紧，严禁锁定过死。装好后检查旋转靶筒磁极方向是否朝向真空室内部，并且检查磁铁是否均匀分布。关门前将靶表面用酒精擦拭干净，严禁有异物粘于靶表面。
七、 G-61镀膜生产线镀膜玻璃脱膜针孔故障分析及解决方案
（一）清洗机故障
1.毛刷、滚筒刷部分输送胶锟。如果毛刷、滚筒过软，则容易洗不干净，如果刷毛过硬则容易给玻璃表面造成划伤；其次要调整毛刷与锟之间的距离，如果距离过大，玻璃不易洗干净，如果距离过小则容易造成阻力过大。
引言 1
一、镀膜线维护 2
（一）目的 2
（二）镀膜线维护操作步骤 2
（三）镀膜维护的重要性 2
二、拆装 2
（一）拆装门 2
（二）拆装上、下侧挡板 2
三、镀膜机的打磨与清洁 3
（一）板喷砂打磨 3
（二）框架的清洁与维护 3
（三）气管清洁维护 3
（四）真空室内部清洁 3
（五）靶拆装与清洁 4
四、传动链条调整 5
五、观测孔玻璃更换与旋片泵泵油更换及罗茨泵加油 5
（一）观测孔玻璃更换 5
（二）旋片泵泵油更换及罗茨泵加油 6
六、镀膜机内部清洁维护 6
（一）阀的清洁与维护 6
（二）分子泵的清洁与维护 6
（三）清洗机清洁维护 7
七、 G-61镀膜生产线镀膜玻璃脱膜针孔故障分析及解决方案 8
（一）清洗机故障 8
（二）解决方案 8
总结 9
参考文献 10
谢辞 11
引言
进入21世纪以来，随着国家节能政策的推行以及节能观念深入人心，所以国内镀膜玻璃的产量直线上升。但是工厂为了使产量最大化就不停使用镀膜线，使得镀膜线在一定程度上受到损坏，所以我们必须在规定的周期内对镀膜线进行维护和保养，使其能正常工作不会降低产品的指令与数量。
课程设计就是以镀膜线维护和保养为核心，详细的介绍维护的各个步骤。
一、镀膜线维护
（一）目的
为了生产镀膜线能正确、安全地开展维护，同时确保镀膜 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: 3 5 1 9 1 6 0 7 2
线维护工作能正常稳定进行，生产出符合工艺要求的产品，如图1-1所示。
（二）镀膜线维护操作步骤
拆装门，拆装上、下侧挡板，镀膜机的打磨与清洁，气管清洁维护，传动链条调整，阀的清洁维护，玻璃更换与旋片泵泵油更换以及罗茨泵加油，镀膜机内部清洁维护。
（三）镀膜维护的重要性
镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
1-1 镀膜机
二、拆装
（一）拆装门
1.拆前确认门内水包冷却水阀巴处于关闭状态，且水管已被拆开。
2.先将行车吊环锁住门上边缘两孔，确认吊环螺丝已拧牢，再将行车调整至适当状态。
3.松掉真空室上固定门的螺丝，将压块于螺丝放于指定地点。
4.将行车缓缓升高，确定已离开底座后行车向东走，将门吊离真空室。
5.将门吊下放置于木板底座上，松掉吊环螺丝，在重复进行1-5步骤。
6.装门过程与之相反。
7.装门时应检查腔室内是否清洁，门内密封圈是否清洁，真空室密封是否清洁，且用酒精布将之擦拭干净后方可装门。
8.注意事项：操作行车者应注意周围环境，防止人员受伤，周围人也应该提高警惕避免自己及他人受伤。门走向真空室注意控制行车速度，严禁门面一真空室密封面有猛烈撞击。
（二）拆装上、下侧挡板
1.拆上、下挡板与拆普通设备一样，松掉螺丝将零件拆下即可。装板应从上往下拆，从下往上装。
2.装侧板时，每次阳极水包包螺丝应蘸上二硫化钼以防螺丝过紧而卡死，垫片需用大号垫片。且所有螺丝需拧紧至20N/M(扭力扳手），拧紧即可，不可宁得过死。
3.装板时注意不能硬碰靶筒及水包，以防靶筒擦伤，水包漏水。
4.所有配件需原装配件，严禁私自使用非原厂配件，如需使用，需经过经理评估同意方可。
三、镀膜机的打磨与清洁
（一）板喷砂打磨
1.将所有侧板、上下挡板、阴阳极板拖至喷砂房。
2.用喷砂机喷砂至板表面无明显溅镀层，且用万用表检查导电性良好。
3.如表面有结块且用喷砂机喷不掉的部分，用手磨机金刚砂轮片将其磨干净。干净程度以万用表测试结果0-500欧姆为准。
4.喷砂打磨后的板用风枪吹干净且经过酒精擦拭干净后方可装入真空室。
5.喷砂完后清洁喷砂房。
6.注意事项：喷砂打磨过程做好人员防护，特别是使用手磨机时注意自身以周围人员安全；打磨人员应佩戴好防躁耳塞。
（二）框架的清洁与维护
1.每班停机维护时应将框架完全清洁，包括上铝板，下铝板，中间不锈钢支撑条。
2.框架清洁项目包括各零件上的镀层以及其它脏污。可用砂纸、小铲、打磨机等进行打磨，打磨完成后用万用表测试其它所有部分是否绝缘。
3.检查框架各零件是否松动，如遇松动应及时紧固。
4.清洁好的框架进入真空室前应检验磁铁是否在磁道中间，如遇磁铁紧贴磁道，严禁将其放入真空室。
5.平时生产时，装片前生产人员必须在生产前检查框架是否干净，是否有螺丝松动，前端磁铁是否在磁道中间。保证框架清洁，螺丝紧固，且磁铁未贴着磁道边缘。整个框架未有突出部分。如框架有较大异常，及时将框架抬下并通知设备人员进行维修。
6.如有框架上有脏污，在装片前将其清理干净。如遇螺丝松动等小问题，生产线人员应及时自行处理。
（三）气管清洁维护
1.气管清洁维护包括钢管，塑料软管，等与之相关的管路。
2.每次开门后检查铜管是否烧断，出气孔是否出气通畅，均匀，每次换铜管后检查气管头部密封圈是否清洁，铜管与流量计是否对应。
3.拆门后对铜管及不锈钢板进行清洁。
（四）真空室内部清洁
1.真空室内部溅射时间久后会导致阳极消失，真空室内部也有挡板未挡住的部分，时间长后会有镀层。如图3-1所示。
2.拆门后对阳极进行打磨，打磨好后用万用表进行检查。
3.打磨后用酒精将真空室擦拭干净方可关门。
3-1 真空室
（五）靶拆装与清洁
1.旋转靶筒
拆旋转靶筒时应注意将靶头锁扣拧牢后方可进行，吊靶过程中行车上升应缓慢上升，行车操作者应注意自身及周围人员安全。靶筒吊上后如是硅靶，应先将表面包一层保鲜膜或保护膜，以免其在维护过程中造成脏污。靶筒两头及铝套铜长时间溅射后会有一层较厚的溅射物，可用手动打磨机配以打磨片进行清理，清理完成后的靶筒应表面光滑且导电性良好。靶筒底下将特氟龙底座每次吊靶后应将其用砂纸清理干净。靶筒吊上后应先通水检查靶筒是否漏水，无误后再将靶完全放下。锁靶筒螺丝前先检查靶头下面特氟龙块是与密封圈，确保其干净后方可将螺丝锁紧，严禁锁定过死。装好后检查旋转靶筒磁极方向是否朝向真空室内部，并且检查磁铁是否均匀分布。关门前将靶表面用酒精擦拭干净，严禁有异物粘于靶表面。
七、 G-61镀膜生产线镀膜玻璃脱膜针孔故障分析及解决方案
（一）清洗机故障
1.毛刷、滚筒刷部分输送胶锟。如果毛刷、滚筒过软，则容易洗不干净，如果刷毛过硬则容易给玻璃表面造成划伤；其次要调整毛刷与锟之间的距离，如果距离过大，玻璃不易洗干净，如果距离过小则容易造成阻力过大。
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