x62d18b3m9t型抛光机的安装与调试

【摘要】X62 D18B3M-9T型抛光机设计从结构、传动方式和运转工作参数即速度匹配方面精心研究了国内外最新同类设备的特点,汲取了国内众多用户使用的成功经验。本着提高设备运转精度,有利于装配和维修,并充分考虑了设备使用的可靠性、实用性、互换性和操作方便性。主要用于蓝宝石、硅片(或其它半导体晶体材料)、陶瓷片、硬盘基片、光盘母盘等及其它硬脆材料的双面高精度抛光。
目录
引言 1
一、X62 D18B3M9T抛光机的概述 2
二、X62 D18B3M9T型抛光机结构及安装 2
(一)主传动系统 2
(二)上盘系统 3
(三)保险机构 5
(四)设备安装 5
三、技术参数 6
四、调试维修 6
总结 13
参考文献 14
致谢 15
引言
X62 D18B3M9T抛光机常常用作机械式研磨、抛光及打蜡。其工作原理是:电动机带动安装在抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转,由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待抛表面进行摩擦,进而可达到去除漆面污染、氧化层、浅痕的目的。抛光盘的转速一般在15003000 r/min,多为无级变速,施工时可根据需要随时调整。
一、X62 D18B3M9T抛光机的概述
X61D18B3M9T抛光机拥有国内抛光机的顶尖水平,方便、安全可靠,并有着其他同类产品所没有的特点:1、上盘压力控制系统,用精密减压阀调控气缸的下腔压力,用电气比例减压阀电控调节气缸的上腔压力,实现多点压力控制。该设备有两个基型,分别是S型和T型。S型为经济型,PLC根据气缸特性、上盘重量、下腔压力和设定压力进行理论计算给定比例阀的压力调控方式,实际上压力不稳定上盘系统波动有偏差,但维护简单,成本低;T型为压力闭环控制,在上盘系统与气缸的连接处有称重传感器检测工件受力,并将信号反馈给压力闭环控制,压力控制准确,并有称重功能,以此配合加工压力设定,可自动消除由于抛光过程中磨损造成的压力不稳定现象,从而保证了工艺参数的前提下,工件性能的稳定性得到了极大的提高。2、该机具有下盘转速、上盘转速、太阳轮转速单独分别设定的功能,方便用户工艺设定。3、该机具有浮动启动功
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能,在缓降时启动主机,满足某些工件要求上盘动态接触的抛光工艺方案。4、该机的太阳轮既可以正转运行,也可以反转运行。5、内齿圈可升降,升降总行程为35mm,高度位置可在任意的位置停留,太阳轮啮合位置的调整采用增减调整垫片的方式。6、该机操作箱设有“四动作”操作手柄,上盘快降、上盘快升、上盘缓降、上盘缓升,方便用户操作上盘系统。7、本机整体为龙门式结构,上盘升到最高位置后,两个保险挂钩自动锁定上盘,并且提供了手动安全吊链和安全支撑,保证了设备使用时的安全可靠。
二、X62 D18B3M9T型抛光机结构及安装
设备由主传动系统、上盘系统、气动系统、抛光液供给系统、保险机构、立柱横梁、箱体、电控系统等几部分组成。
(一)主传动系统
主传动部分如图 21所示:

图21主传动部分
该机选用三电机拖动,上盘、下盘和太阳轮分别由独立的电机拖动,变频器调速,分别装完即可。主轴为带动齿轮转动并让齿圈单独升降,齿圈升降在行程范围内任意位置停留自锁。抬升极限行程通过行程杆上的限位挡块及行程开关控制保护,齿圈升降由抬升电机驱动齿轮带动丝杠副来完成。
(二)上盘系统
上盘系统由气缸、拉力传感器、调心轴承、拨键、盘体几部分组成,主气缸用于上盘系统的升降和加压控制,拉力传感器用于上盘系统重量的检测,调心轴承用于上盘自动调心,拨键则用于传递驱动上盘旋转的扭矩。如图22,图23所示:

图22上盘太阳轮

图23上盘系统结构图
该部分以上盘为基础,将承载盘、支杆、连接盘、拨键、把手等依次安装将水管剪成适当的长度连接在接线环和上盘之间。
(三)保险机构
保险机构的主要组成为安全挂钩,安全挂钩装在横梁上位于连接两侧防止上盘系统掉落。由气缸推动吊钩摆动,气缸上装有磁性开关用于检测吊钩打开、锁闭是否到位,弹簧则用于辅助吊钩复位。如图24,图25所示:
 
图24安全挂钩 图25安全挂钩结构图
(四)设备安装
除了放置设备外,设备周围还应留出适当的操作空间。设备应放置在坚实的经过专门处理的能承受设备重量的地面上,如地面太软,必须进行加固处理。还应在远离震动、粉尘的,温度相对恒定的封闭空间中。可直接放在地板上,调整六个地脚螺栓校正设备的水平,校正时,用水平仪在抛光盘上检测,其水平应调至0.006%,六个地脚应均匀受力、无落空、无撬动现象。装气缸时,注意安装时调整位置,使上、下盘对正度不大于0.5mm,接上气管,调整磁性开关,使各个检测位置符合要求。各机械部件连接螺钉,无缺失、松动。各电气端子压固螺钉,梳理线路整齐,确保接线无飞空、虚脱。
设备室内温度在10~25度,相对湿度应小于等于90%,电源电压为380V,工作液或清洗水水压为0.1~0.3Mpa。
三、技术参数
抛光机对于安装的技术有一定的严格要求,因为负载的工作量时间长而且工作量也比较大所以我们在安装的时候要满足其一定的生产要求。下面就是我们对于抛光机的技术的一方面的参数如表31:
表31 抛光机的技术参数
研磨盘尺寸(mm):1257*723*60
速度控制精度:+ —0.1rpm
抛光机尺寸(mm):1285*695*60
最大工作压力:800Kg
齿圈参数:Z=264 PCD=1320(销齿)
砂桶容量:30升
太阳轮参数:Z=132 PCD=660(销齿)
供电电源:AC380V
游轮参数:Z=66 PCD=330(销齿)
供电压力:0.4~0.6Mpa,干燥无油
销齿参数:直径:8mm 节距:15.7mm
电机(下盘、齿圈):15KW 1450rpm
游轮数量:9片
电机(上盘):7.5KW 1450rpm 
下盘转速:0~60rpm
电机(太阳轮):2.2KW 1440rpm
上盘转速:0~25rpm
外形尺寸(长*宽*高):2700mm*1950mm*2780mm
太阳轮转速:0~20rpm
设备质量:7800Kg
四、调试维修
当设备安装就位,对机械、电气做全面详细地检查,再分步开机试运行、确认设备调整正常时,便可开机运行。该设备操作按钮简洁,上盘的“缓升”、“快升”、“缓降”、“快降”集中在同一手柄上,另设“运行”、“点动”、“停止”、“急停”按钮。图41,图42为设备操作面板和操作界面。

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