x61s820×305ds型研磨机装配工艺
日期： 年 月 日 【】X61 S820×305-D-S型研磨机在我国电子公司硅片抛光研磨中广泛使用，它是一种精度相对较高，价格适中的一种经济实用型机器。本文介绍了它的整机安装工艺。主要包括它的上抛盘和下抛盘的结构组装还有组装时的注意事项；还包括了上箱体和下箱体的表面处理方法；液压系统的结构方式；调试和负载实验。经过本文的组装介绍可以提高我们对它结构的认知。
目录
引言 1
一、装配简介 2
（一）装配的定义 2
（二）装配的工艺基础 2
（三）装配的一般步骤 2
（四）装配的工作要点 2
二、X61 S820×305DS研磨机的介绍 3
三、上抛盘以及气缸零件的组装 5
（一）上抛盘的组装 5
（二）气缸的组装及相关事项 6
四、下箱体的部件安装 7
（一）下箱体表面处理 7
（二）箱体电机的安装及事项 7
五、下抛盘的装配与精度调试工作 8
六、上下箱体的接合和安装下盘的安装 10
（一）上箱体的清理 10
（二）下箱体的清理 10
（三）上下箱体的接合 11
（四）接线工作 12
七、运行测试 13
（一）下盘通液精度测试 13
（二）上盘负载是否正常 13
（三）调试 14
总结 15
参考文献 16
谢 辞 17
引言
在机械制造业中，研磨技术已经越来越受到重视。随着电子行业的迅速发展，大量先进的电子设配，光伏产业硅片（单晶硅、多晶硅）及电子玻璃、水晶、蓝宝石等材料应用的也越来越普遍，随着行业对这些材料的精度要求也越来高，研磨机要求达到的精度也就越高，我们要研究安装时怎样才能提高研磨机的精度。
研磨机的工作原理是由电机带动抛光盘高速运转，由抛光盘上的海绵，羊毛和抛光液的共同作用，使它与抛表面保持摩擦，进而达到去漆面污染、氧化层、浅
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划痕的目的。目前我国乃以手工研磨抛光为主，该方法主要依赖于操作者的经验技艺水平，不仅效率低，且工人劳动强度大，质量不稳定，周期长，工人作业环境差。模具表面的质量对模具使用寿命、制件外观质量等方面均有较大的影响。因此，研究抛光的自动化和智能化是重要的发展趋势，也是我们研究方向。
装配简介
（一）装配的定义
装配不仅是零件、组件、部件的配合和联结等过程，还包括调整、检验、实验、油漆和包装等工作，按规定的技术要求，将零件和部件进行配合和联结，使之成为半成品或成品所进行的过程。
（二）装配的工艺基础
装配是机械制造过程的第一阶段，机器的质量最终是通过细致的装配而保证的。若装配错误，即使零件的制造精度质量达标，也不一定能够生产出保质保量的产品。
反之，零件的制造质量存在一丝瑕疵，但是只要在装配的过程中采取合适的工艺措施，也能使产品达到规定的技术要求。因此，装配工艺对保证机器的质量起到十分重要的作用。
装配要了解一些工具的种类、特点及用途，比如说：扳手、螺丝刀、六角、钳子、活扳、梅花、等等。见图11。
图11 装配工艺流程图
（三）装配的一般步骤
（1）装配前的准备，必须研究和熟悉装配图和装配工艺确定装配方法、程序，准备好所需工具，熟悉装配工艺流程领取零件，并用柴油、煤油等清洗零件，检查零件质量，然后涂一层润滑油。
（2）装配分类进行组件装配的部件装配，最后总装配
（3）调试和试验进行调整，包括机构间隙、压力、位置和角度；进行试验，包括空载和负载试验。
（4）喷漆、保养和装箱喷漆，外表面按技术要求喷漆；保养，加工面应进行油封保养，防止生锈
（四）装配的工作要点
（1）所有零件必须检验合格后才能进入装配。过盈或单配、选配的零件，在装配前对有关尺寸应严格复检，并做好配套标记。
目的：利于保证装配顺利完成。
（2）为了防止表面刮伤，倒棱角、去毛刺。
目的：利于安全操作。
（3）为了注意防锈，达到清洁度标准要求，将零部件擦洗干净。
目的：保证装配质量。
（4）为了不因紧固变形影响产品的质量，只能调平，机座就位。
目的：保证总装精度。
（5）零部件装配程序，一般情况下是先上后下，先内后外，先难后易，先大后小，先粗后精。
目的：利于保证装配精度。
（6）为了有合适的配合间隙，运动部分要接触良好，变速和变速结构要操作灵活。
目的：防止运动时咬死。
（7）选定好的调整环节一边调整修配达到较好的精度。
目的：利于保证装配精度。
（8）应力求适当的精度储备。
目的：延长机器寿命。
（9）比较大的产品，对产品部件装配的质量要求，检验项目和精度标准应严加控制。
目的：保证用户安装成整机的要求。
（10）旋转体应平稳，密封系统防止泄露，紧固件联接牢固，运动面应加润滑油脂
目的：保持整机正常运行，装配过程中，应尽量采用新工艺，性技术，减轻劳动强度，提高装配质量和效率。
X61 S820×305DS研磨机的介绍
X61 S820×305DS研磨机主要用于蓝宝石、碳化硅、硅片的单面研磨，也可用于其他硬脆材料的单面高精度、高效率研磨。
该机器采用触摸界面及PLC控制。为用户提供开放式的图形操控界面，充分发挥机械硬件性能；该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点；四个上抛头，主动旋转，压力控制四级自定义平滑过渡，且每个抛头均可单独控制；下盘是采用循化冷却水强制冷却，配合红外测温装置，温度控制精确；并配备有高精度液压车刀装置及修正环见图21。
图21研磨机构图
主轴系统由电机通过窄V带拖动涡轮蜗杆减速箱，直连下盘轴带动下盘旋转，采用最短的传动链保证了其运转精度，下盘采用推力轴承定位支撑。
支架座是下盘主轴系统的支撑，下盘采用推力球轴承支撑，下盘采用水冷结构可通冷却水强制冷却，下盘轴直接连接减速箱，传动链短，传动效率高，下盘轴下端装有旋转接头，用于通冷却水，接液体盆的盆底具有一定的倾斜度，利于流工作液，铜磨机磨盘采用复合树脂锡盘，结构更换方便。见图22。整机规格见表21。
图22 上盘结构
表21 整机的规格参数
下盘
Φ843mm×Φ274mm
上抛头直径
Φ305mm
承片盘直径
Φ305mm
抛光头数量
目录
引言 1
一、装配简介 2
（一）装配的定义 2
（二）装配的工艺基础 2
（三）装配的一般步骤 2
（四）装配的工作要点 2
二、X61 S820×305DS研磨机的介绍 3
三、上抛盘以及气缸零件的组装 5
（一）上抛盘的组装 5
（二）气缸的组装及相关事项 6
四、下箱体的部件安装 7
（一）下箱体表面处理 7
（二）箱体电机的安装及事项 7
五、下抛盘的装配与精度调试工作 8
六、上下箱体的接合和安装下盘的安装 10
（一）上箱体的清理 10
（二）下箱体的清理 10
（三）上下箱体的接合 11
（四）接线工作 12
七、运行测试 13
（一）下盘通液精度测试 13
（二）上盘负载是否正常 13
（三）调试 14
总结 15
参考文献 16
谢 辞 17
引言
在机械制造业中，研磨技术已经越来越受到重视。随着电子行业的迅速发展，大量先进的电子设配，光伏产业硅片（单晶硅、多晶硅）及电子玻璃、水晶、蓝宝石等材料应用的也越来越普遍，随着行业对这些材料的精度要求也越来高，研磨机要求达到的精度也就越高，我们要研究安装时怎样才能提高研磨机的精度。
研磨机的工作原理是由电机带动抛光盘高速运转，由抛光盘上的海绵，羊毛和抛光液的共同作用，使它与抛表面保持摩擦，进而达到去漆面污染、氧化层、浅
*好棒文|www.hbsrm.com +Q: ￥351916072￥
划痕的目的。目前我国乃以手工研磨抛光为主，该方法主要依赖于操作者的经验技艺水平，不仅效率低，且工人劳动强度大，质量不稳定，周期长，工人作业环境差。模具表面的质量对模具使用寿命、制件外观质量等方面均有较大的影响。因此，研究抛光的自动化和智能化是重要的发展趋势，也是我们研究方向。
装配简介
（一）装配的定义
装配不仅是零件、组件、部件的配合和联结等过程，还包括调整、检验、实验、油漆和包装等工作，按规定的技术要求，将零件和部件进行配合和联结，使之成为半成品或成品所进行的过程。
（二）装配的工艺基础
装配是机械制造过程的第一阶段，机器的质量最终是通过细致的装配而保证的。若装配错误，即使零件的制造精度质量达标，也不一定能够生产出保质保量的产品。
反之，零件的制造质量存在一丝瑕疵，但是只要在装配的过程中采取合适的工艺措施，也能使产品达到规定的技术要求。因此，装配工艺对保证机器的质量起到十分重要的作用。
装配要了解一些工具的种类、特点及用途，比如说：扳手、螺丝刀、六角、钳子、活扳、梅花、等等。见图11。
图11 装配工艺流程图
（三）装配的一般步骤
（1）装配前的准备，必须研究和熟悉装配图和装配工艺确定装配方法、程序，准备好所需工具，熟悉装配工艺流程领取零件，并用柴油、煤油等清洗零件，检查零件质量，然后涂一层润滑油。
（2）装配分类进行组件装配的部件装配，最后总装配
（3）调试和试验进行调整，包括机构间隙、压力、位置和角度；进行试验，包括空载和负载试验。
（4）喷漆、保养和装箱喷漆，外表面按技术要求喷漆；保养，加工面应进行油封保养，防止生锈
（四）装配的工作要点
（1）所有零件必须检验合格后才能进入装配。过盈或单配、选配的零件，在装配前对有关尺寸应严格复检，并做好配套标记。
目的：利于保证装配顺利完成。
（2）为了防止表面刮伤，倒棱角、去毛刺。
目的：利于安全操作。
（3）为了注意防锈，达到清洁度标准要求，将零部件擦洗干净。
目的：保证装配质量。
（4）为了不因紧固变形影响产品的质量，只能调平，机座就位。
目的：保证总装精度。
（5）零部件装配程序，一般情况下是先上后下，先内后外，先难后易，先大后小，先粗后精。
目的：利于保证装配精度。
（6）为了有合适的配合间隙，运动部分要接触良好，变速和变速结构要操作灵活。
目的：防止运动时咬死。
（7）选定好的调整环节一边调整修配达到较好的精度。
目的：利于保证装配精度。
（8）应力求适当的精度储备。
目的：延长机器寿命。
（9）比较大的产品，对产品部件装配的质量要求，检验项目和精度标准应严加控制。
目的：保证用户安装成整机的要求。
（10）旋转体应平稳，密封系统防止泄露，紧固件联接牢固，运动面应加润滑油脂
目的：保持整机正常运行，装配过程中，应尽量采用新工艺，性技术，减轻劳动强度，提高装配质量和效率。
X61 S820×305DS研磨机的介绍
X61 S820×305DS研磨机主要用于蓝宝石、碳化硅、硅片的单面研磨，也可用于其他硬脆材料的单面高精度、高效率研磨。
该机器采用触摸界面及PLC控制。为用户提供开放式的图形操控界面，充分发挥机械硬件性能；该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点；四个上抛头，主动旋转，压力控制四级自定义平滑过渡，且每个抛头均可单独控制；下盘是采用循化冷却水强制冷却，配合红外测温装置，温度控制精确；并配备有高精度液压车刀装置及修正环见图21。
图21研磨机构图
主轴系统由电机通过窄V带拖动涡轮蜗杆减速箱，直连下盘轴带动下盘旋转，采用最短的传动链保证了其运转精度，下盘采用推力轴承定位支撑。
支架座是下盘主轴系统的支撑，下盘采用推力球轴承支撑，下盘采用水冷结构可通冷却水强制冷却，下盘轴直接连接减速箱，传动链短，传动效率高，下盘轴下端装有旋转接头，用于通冷却水，接液体盆的盆底具有一定的倾斜度，利于流工作液，铜磨机磨盘采用复合树脂锡盘，结构更换方便。见图22。整机规格见表21。
图22 上盘结构
表21 整机的规格参数
下盘
Φ843mm×Φ274mm
上抛头直径
Φ305mm
承片盘直径
Φ305mm
抛光头数量
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