印刷电路板di镭射曝光机的安装与调试
本论文主要讲述了LDI镭射曝光机的安装与调试，通关对LDI曝光机的工作原理及其分析，详细介绍了LDI镭射曝光机从安装到生产电路板的全过程。突破了传统曝光机因UV光均匀度不一样导致边缘线宽重复性不好的问题，让底片涨缩值误差变小，进而达到提高生产率和品质的要求。本设备是一种高精密设备，安装到调试是极其复杂的过程；LDI印刷基板用数码曝光系统已经是PCB行业必不可少的支柱；满足了高生产，高品质，高良率的要求；我在实习期间将学校的CAD，线路分析连接、液压与气动与课本知识都完美地结合，更加巩固了专业知识，同时也锻炼了自己的能力。
目录
引言 1
一、 DI镭射曝光机简介 2
（一）DI镭射曝光机 2
（二）镭射曝光机的运用 2
（三）镭射曝光机的各种发展 2
（四）镭射曝光机工作原理 3
二、系统概况 3
（一）系统的组成 3
（二）上流机与下流机的定义 5
（三）系统的启动 5
（四）工作服务器的功能概要 6
三、安装步骤 7
（一）安装定位 7
（二）安装曝光机主机 7
（三）拆下运输固定件 7
（四）校准装置水平定位 9
（五）固定曝光机头 9
（六）安装光源装置 10
（七）安装曝光机头的排气管道 12
（八）安装送风整流板 13
（九）安装信号塔 13
（十）连接自动搬送机 14
（十一）配套连接曝光机主机 15
（十二）安装冷却机 16
（十三）安装温度调节机 17
五、曝光机的调试 18
总结 19
致谢 20
参考文献 21
引言
在日益发展的PCB行业中，对电路板的品质要求愈来愈高，只有提高曝光机的曝光精度，生产出的基板才会得到保障，所以FUJIFILM研发出来了一类高精密曝光机器IP3600H镭射曝光机，在印刷电路板行业中占有很重要的地位。
本论文主要讲解了IP3600H镭射曝光机的安装与设计。通过对镭 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: ^351916072^
射曝机的安装，详细介绍了镭射曝光机的机械结构和安装步骤。
DI镭射曝光机简介
（一）DI镭射曝光机
在计算机的作用下，使用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，被电子束辐照后的光刻胶，它的物理化学性质发生了变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成细致的图形。曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机等技术于一体的复杂的半导体加工设备。20世纪60年代初曝光机从扫描电子显微镜的基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，如图11所示。
图11 DI镭射曝光机
（二）镭射曝光机的运用
镭射曝光机是曝光机的一种，主要应用于PCB线路板制造、半导体生产及高精密细线路曝光，其突出特点是可以大量的生产PCB板并且不需要浪费太多人力。使用镭射曝光机可以同时拥有产量、速度、质量三大优点，因此能方便简化工厂生产，带来巨大的效益。在使用镭射曝光机工作时，可以将数十种待做的料号添加至电脑，达到自动生产的效果。由于其自身突出的特点，现已广泛应用于各大电子厂的PCB板生产中。镭射曝光机的LED光波能让墨水深层固化，杜绝印品表面底层都不干的情况发生，并且在各种介质上印刷它的黏附性和抗光滑性都很强。与其它普通曝光机相比能更节省能源也更具稳定性，灯源寿命超过2万小时。
（三）镭射曝光机的各种发展
近年来因各类显示装置触控功能越来越成成熟，智慧型手机、平板电脑需求量成倍数成长，因此在各种尺寸触控面板及PCB的需求也越来越高。在PCB生产过程中，黄光制程决定了产品最后的好坏，黄光制程的主要目的是将涂抹光阻液的PCB板透过UV光曝光照射，利用显影剂清除光阻，在PCB黄光室制程主要分为:內、外层干膜、湿膜制程及防焊制程。随着PCB行业朝着高精密发展，为了解决良率和产出率的问题，新兴镭射曝光机激光成像技术日益受到PCB行业的重视，是现在高端曝光机的主流产品。这种曝光技术与市场的其他曝光产品相比，具有更高的成品率和良率。在原来的传统曝光机基础上有了超高的印刷速度，同时还能对其靶点进行校正。随着PCB行业开始引进镭射曝光机，PCB行业才能日益发展壮大。
（四）镭射曝光机工作原理
PCB曝光设备是属于PCB的前段制程设备，此设备的主要功能是将表面涂有光阻液的PCB，透过光罩阻隔，利用UV光照射，沒有被光罩遮蔽的光阻液会被显影剂所清除，被遮蔽的部份则会保留。系统架构为送料轴、出料轴、及光罩固定轴(使用了，龙门控制)，送料轴将PCB板送入曝光机后，透过CCD定位后调整校正PCB位置，将光罩固定轴移动至曝光位置后开启UV光源，待曝光完成后，出料轴将PCB板送出完成曝光的动作。因为 PCB尺寸越來越小，因此系统最重要的是如何准确地为PCB定位，透过CCD影像回收校正PCB正確位置，及光罩定位精确性，以到定位精度100um以內。在计算机的控制下对机台基板进行数据确认，保证镭射头在基板上进行精密曝光。在曝光之前也需要通过工作站服务电脑进行CAM确定，使得基板需要曝光的料号图案与机台本体曝光的图案一致，达到曝光的稳定性，对基板做板良率达到客户要求。同时也可以在机台AC部调节曝光基板搬运速度，在曝光质量为原则，同时可以达到生产要求。还要要求PCB真空良好，机台本体在发现真空泵输入输出值达不到要求时，会及时报警，及时提醒客户，减少不良品的产生。曝光结束后从AC搬出口进行搬出，这是镭射曝光机的工作原理和流程。
二、系统概况
（一）系统的组成
本数码曝光系统由曝光装置和工作服务器组成。曝光装置由曝光基本体、自动搬送机、光源单位、温度调节机以及冷却机组成，如表1所示。
表1 数码曝光系统结构
装置名称
说明
曝光机本体
从工作服务器接收数据，执行曝光处理,如图21。
目录
引言 1
一、 DI镭射曝光机简介 2
（一）DI镭射曝光机 2
（二）镭射曝光机的运用 2
（三）镭射曝光机的各种发展 2
（四）镭射曝光机工作原理 3
二、系统概况 3
（一）系统的组成 3
（二）上流机与下流机的定义 5
（三）系统的启动 5
（四）工作服务器的功能概要 6
三、安装步骤 7
（一）安装定位 7
（二）安装曝光机主机 7
（三）拆下运输固定件 7
（四）校准装置水平定位 9
（五）固定曝光机头 9
（六）安装光源装置 10
（七）安装曝光机头的排气管道 12
（八）安装送风整流板 13
（九）安装信号塔 13
（十）连接自动搬送机 14
（十一）配套连接曝光机主机 15
（十二）安装冷却机 16
（十三）安装温度调节机 17
五、曝光机的调试 18
总结 19
致谢 20
参考文献 21
引言
在日益发展的PCB行业中，对电路板的品质要求愈来愈高，只有提高曝光机的曝光精度，生产出的基板才会得到保障，所以FUJIFILM研发出来了一类高精密曝光机器IP3600H镭射曝光机，在印刷电路板行业中占有很重要的地位。
本论文主要讲解了IP3600H镭射曝光机的安装与设计。通过对镭 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: ^351916072^
射曝机的安装，详细介绍了镭射曝光机的机械结构和安装步骤。
DI镭射曝光机简介
（一）DI镭射曝光机
在计算机的作用下，使用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，被电子束辐照后的光刻胶，它的物理化学性质发生了变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成细致的图形。曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机等技术于一体的复杂的半导体加工设备。20世纪60年代初曝光机从扫描电子显微镜的基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，如图11所示。
图11 DI镭射曝光机
（二）镭射曝光机的运用
镭射曝光机是曝光机的一种，主要应用于PCB线路板制造、半导体生产及高精密细线路曝光，其突出特点是可以大量的生产PCB板并且不需要浪费太多人力。使用镭射曝光机可以同时拥有产量、速度、质量三大优点，因此能方便简化工厂生产，带来巨大的效益。在使用镭射曝光机工作时，可以将数十种待做的料号添加至电脑，达到自动生产的效果。由于其自身突出的特点，现已广泛应用于各大电子厂的PCB板生产中。镭射曝光机的LED光波能让墨水深层固化，杜绝印品表面底层都不干的情况发生，并且在各种介质上印刷它的黏附性和抗光滑性都很强。与其它普通曝光机相比能更节省能源也更具稳定性，灯源寿命超过2万小时。
（三）镭射曝光机的各种发展
近年来因各类显示装置触控功能越来越成成熟，智慧型手机、平板电脑需求量成倍数成长，因此在各种尺寸触控面板及PCB的需求也越来越高。在PCB生产过程中，黄光制程决定了产品最后的好坏，黄光制程的主要目的是将涂抹光阻液的PCB板透过UV光曝光照射，利用显影剂清除光阻，在PCB黄光室制程主要分为:內、外层干膜、湿膜制程及防焊制程。随着PCB行业朝着高精密发展，为了解决良率和产出率的问题，新兴镭射曝光机激光成像技术日益受到PCB行业的重视，是现在高端曝光机的主流产品。这种曝光技术与市场的其他曝光产品相比，具有更高的成品率和良率。在原来的传统曝光机基础上有了超高的印刷速度，同时还能对其靶点进行校正。随着PCB行业开始引进镭射曝光机，PCB行业才能日益发展壮大。
（四）镭射曝光机工作原理
PCB曝光设备是属于PCB的前段制程设备，此设备的主要功能是将表面涂有光阻液的PCB，透过光罩阻隔，利用UV光照射，沒有被光罩遮蔽的光阻液会被显影剂所清除，被遮蔽的部份则会保留。系统架构为送料轴、出料轴、及光罩固定轴(使用了，龙门控制)，送料轴将PCB板送入曝光机后，透过CCD定位后调整校正PCB位置，将光罩固定轴移动至曝光位置后开启UV光源，待曝光完成后，出料轴将PCB板送出完成曝光的动作。因为 PCB尺寸越來越小，因此系统最重要的是如何准确地为PCB定位，透过CCD影像回收校正PCB正確位置，及光罩定位精确性，以到定位精度100um以內。在计算机的控制下对机台基板进行数据确认，保证镭射头在基板上进行精密曝光。在曝光之前也需要通过工作站服务电脑进行CAM确定，使得基板需要曝光的料号图案与机台本体曝光的图案一致，达到曝光的稳定性，对基板做板良率达到客户要求。同时也可以在机台AC部调节曝光基板搬运速度，在曝光质量为原则，同时可以达到生产要求。还要要求PCB真空良好，机台本体在发现真空泵输入输出值达不到要求时，会及时报警，及时提醒客户，减少不良品的产生。曝光结束后从AC搬出口进行搬出，这是镭射曝光机的工作原理和流程。
二、系统概况
（一）系统的组成
本数码曝光系统由曝光装置和工作服务器组成。曝光装置由曝光基本体、自动搬送机、光源单位、温度调节机以及冷却机组成，如表1所示。
表1 数码曝光系统结构
装置名称
说明
曝光机本体
从工作服务器接收数据，执行曝光处理,如图21。
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