湿法蚀刻机的装配及试车
液晶（FPD）是现代的重要发明，我所在的工厂顺应时代的发展，主要生产关于液晶面板的产品。本文写的是湿法蚀刻机（Wet etching machine），该蚀刻机机采用了四个喷洒压力高达6kg/cm2的高压喷洒组立，一个风刀，四个药刀，二个二流体刀，上百条输送等。所有机台都可以由人机面板控制，它可以反映出整条线的运转情况，并且控制整台机器。玻璃板的位置可以由在籍SENSOR来确认。摇摆喷洒，药刀，液切，闸门的组合可以保证机器内部的整洁。本文湿法蚀刻机中，从装配到试车这两方面来构思，本机的功能可以完全满足客户的需求，从设计到装机完成体现很强的灵活性，在市场上有较大的竞争力。
目录
引言 1
一、湿法蚀刻机的概述 2
二、下槽机构的组装 2
（一）联线定位（TANK槽/水盘/钢架/PUMP） 2
（二）加热器与冷却系统的组装 3
（三）下槽PVC管路的建立 4
（四）CDA管路的建立 4
三、上槽机构的组成 6
（一）传动机构的建立 6
（二）输送机构的建立 7
（三）在籍senor的建立 8
（四）AK风刀的装配与调试 9
四、试车与拆机 10
（一）试车前的准备 10
（二）试车时的注意事项 13
（三）拆机时的注意事项 13
总结 15
参考文献 16
致谢 17
引言
湿法蚀刻是一种刻蚀方法，主要在较为平整的膜面上刻出绒面，从而增加光程，减少光的反射，刻蚀可用稀释的盐酸等
湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简单来说，就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念，它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性，所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀，横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的深度。这样一来，上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差，也就无法高质量地完成图形转移和复制的工作，因此随着特征尺寸的减小，在图形转移过程中基本不再使用。
*好棒文|www.hbsrm.com +Q: @351916072@
目前，湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节，而在图形转移中干法刻蚀已占据主导地位。
伴随中国机械制造业的高速发展，生产能力越来越丰富，我们manz公司的主旨是团结激情成就高产能。我们manz是一家世界级的高科技设备制造公司，Manz总公司位于德国罗伊特林根城，掌控许多独特技术，比如激光工艺、真空镀膜、电极印刷测试、化学湿制程等。这些核心技术将应用于Manz在“显示器”、“太阳能”及“电池”三大策略领域的技术，在未来manz将变得越来越好。
一、湿法蚀刻机的概述
液晶显示屏的制造工艺分为薄膜，显影，蚀刻等工艺。蚀刻是液晶显示屏制造过成中十分重要的一个步骤，增加光程，减少光的反射。
湿法蚀刻机的装配主要分为上下机槽的组装。下槽主要为pvc管路的的建立，还有加热器，气动阀，tank槽的组装。上槽相较下槽比较复杂，涉及输送，马达，喷洒，在籍senor，AK风刀，水刀，传动等机构的组立。湿法蚀刻机的组立比较复杂，但是我们也要谨慎的组装，一旦有机构出现问题，整体机构运行会发生较大的事故。
现在干法蚀刻机在渐渐代替湿法蚀刻，但是湿法蚀刻现在仍然是市面上的主流工艺。
二、下槽机构的组装
（一）联线定位（TANK槽/水盘/钢架/PUMP）
1.确定场地图和layout图。（如图11，12）
2.根据场地图和layout确定机台位置，并且拉线确定中心线（如图13）。
3.根据中心线和layout图确定每一台机的位置并标识。（如图14）。
图11 场地图 图12 layout图
图13 中心线 图14 机台位置标识
Layout图是由公司的工程师们商讨决定的，layout图的设计师要了解很多的知识才能够把控图纸的关键。比如电路原理、EDA软件、生产工艺、技术规则、机械原理等，他们要把这些熟练掌握才能设计出合理的layout图。
注意事项：1.中心线要准确。
2.机台间距误差不能大于2毫米。
3.机脚高度全线误差不能大于0.2毫米。
4.机台连接螺丝要完全吻合，不能有误差。
（二）加热器与冷却系统的组装
1.加热器的组装
我们亚智使用的加热器按功率大约分为6v、12v、18v、24v四种，如果我们的客户根据他们自身有特殊的要求的话，我们相应的做一些改变。加热器对机器的影响是巨大的，如果功率过大的话，会影响机器寿命，并且有较大的安全隐患。如果功率过小的话，那将严重影响工作效率。
加热器安装在机器的tank槽中，由于加热器十分的脆弱，所以安装的过程一定要十分的小心，并且要安装牢固。本机器用的是208v的加热器（图15）并且要一个tank槽安装22个，共44个（图16）。
图15加热器功率 图16加热器数量
2.冷却盘管的组装
冷却盘管的组装更多的是注意迫紧材料的组装。迫紧材质有很多种例如VITON，EPDM，铁氟龙。这几种材质各有所长，VITON材质的耐酸性比较强，适合用在酸性较强的tank槽内。EPDM材质的耐碱性比较强，适合装在碱性比较强的tank槽内。铁氟龙这种材质就非常全面，它的耐酸性和耐碱性都十分的强大。唯一的缺点是造价十分的高，是上面两种材料的十几倍，所以铁氟龙这种材质的迫紧在很特殊的机台上才会使用。这台湿法蚀刻机就是其中之一。
组装冷却盘管的时候要注意，在锁螺丝的时候冷却盘管不能碰到其他任何东西，如果有干涉，要立刻联系RD设计师，及时修改设计图纸方案。在锁冷却盘管的迫紧和法兰是，记住螺丝一定要缩紧，不留缝隙。这样可以防止冷却盘管和法兰不会因为水压而导致受力不均而导致断裂，漏水。
3.螺丝的材质
螺丝材质分很多种：黑铁，不锈钢304，不锈钢316，钛，PIEK等等，我厂常用的就是这五种。一般情况下tank槽内不会使用黑铁材质的螺丝，会使用piek，钛，不锈钢等比较少用到的螺丝。在这其中钛的抗酸碱的能力最强，其次是piek和不锈钢。由于蚀刻机的特殊性无法使用不锈钢材质的螺丝，钛是稀有金属的一种，价格十分的昂贵，所以我们公司选用性价比比较高的piek螺丝。
目录
引言 1
一、湿法蚀刻机的概述 2
二、下槽机构的组装 2
（一）联线定位（TANK槽/水盘/钢架/PUMP） 2
（二）加热器与冷却系统的组装 3
（三）下槽PVC管路的建立 4
（四）CDA管路的建立 4
三、上槽机构的组成 6
（一）传动机构的建立 6
（二）输送机构的建立 7
（三）在籍senor的建立 8
（四）AK风刀的装配与调试 9
四、试车与拆机 10
（一）试车前的准备 10
（二）试车时的注意事项 13
（三）拆机时的注意事项 13
总结 15
参考文献 16
致谢 17
引言
湿法蚀刻是一种刻蚀方法，主要在较为平整的膜面上刻出绒面，从而增加光程，减少光的反射，刻蚀可用稀释的盐酸等
湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简单来说，就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念，它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性，所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀，横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的深度。这样一来，上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差，也就无法高质量地完成图形转移和复制的工作，因此随着特征尺寸的减小，在图形转移过程中基本不再使用。
*好棒文|www.hbsrm.com +Q: @351916072@
目前，湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节，而在图形转移中干法刻蚀已占据主导地位。
伴随中国机械制造业的高速发展，生产能力越来越丰富，我们manz公司的主旨是团结激情成就高产能。我们manz是一家世界级的高科技设备制造公司，Manz总公司位于德国罗伊特林根城，掌控许多独特技术，比如激光工艺、真空镀膜、电极印刷测试、化学湿制程等。这些核心技术将应用于Manz在“显示器”、“太阳能”及“电池”三大策略领域的技术，在未来manz将变得越来越好。
一、湿法蚀刻机的概述
液晶显示屏的制造工艺分为薄膜，显影，蚀刻等工艺。蚀刻是液晶显示屏制造过成中十分重要的一个步骤，增加光程，减少光的反射。
湿法蚀刻机的装配主要分为上下机槽的组装。下槽主要为pvc管路的的建立，还有加热器，气动阀，tank槽的组装。上槽相较下槽比较复杂，涉及输送，马达，喷洒，在籍senor，AK风刀，水刀，传动等机构的组立。湿法蚀刻机的组立比较复杂，但是我们也要谨慎的组装，一旦有机构出现问题，整体机构运行会发生较大的事故。
现在干法蚀刻机在渐渐代替湿法蚀刻，但是湿法蚀刻现在仍然是市面上的主流工艺。
二、下槽机构的组装
（一）联线定位（TANK槽/水盘/钢架/PUMP）
1.确定场地图和layout图。（如图11，12）
2.根据场地图和layout确定机台位置，并且拉线确定中心线（如图13）。
3.根据中心线和layout图确定每一台机的位置并标识。（如图14）。
图11 场地图 图12 layout图
图13 中心线 图14 机台位置标识
Layout图是由公司的工程师们商讨决定的，layout图的设计师要了解很多的知识才能够把控图纸的关键。比如电路原理、EDA软件、生产工艺、技术规则、机械原理等，他们要把这些熟练掌握才能设计出合理的layout图。
注意事项：1.中心线要准确。
2.机台间距误差不能大于2毫米。
3.机脚高度全线误差不能大于0.2毫米。
4.机台连接螺丝要完全吻合，不能有误差。
（二）加热器与冷却系统的组装
1.加热器的组装
我们亚智使用的加热器按功率大约分为6v、12v、18v、24v四种，如果我们的客户根据他们自身有特殊的要求的话，我们相应的做一些改变。加热器对机器的影响是巨大的，如果功率过大的话，会影响机器寿命，并且有较大的安全隐患。如果功率过小的话，那将严重影响工作效率。
加热器安装在机器的tank槽中，由于加热器十分的脆弱，所以安装的过程一定要十分的小心，并且要安装牢固。本机器用的是208v的加热器（图15）并且要一个tank槽安装22个，共44个（图16）。
图15加热器功率 图16加热器数量
2.冷却盘管的组装
冷却盘管的组装更多的是注意迫紧材料的组装。迫紧材质有很多种例如VITON，EPDM，铁氟龙。这几种材质各有所长，VITON材质的耐酸性比较强，适合用在酸性较强的tank槽内。EPDM材质的耐碱性比较强，适合装在碱性比较强的tank槽内。铁氟龙这种材质就非常全面，它的耐酸性和耐碱性都十分的强大。唯一的缺点是造价十分的高，是上面两种材料的十几倍，所以铁氟龙这种材质的迫紧在很特殊的机台上才会使用。这台湿法蚀刻机就是其中之一。
组装冷却盘管的时候要注意，在锁螺丝的时候冷却盘管不能碰到其他任何东西，如果有干涉，要立刻联系RD设计师，及时修改设计图纸方案。在锁冷却盘管的迫紧和法兰是，记住螺丝一定要缩紧，不留缝隙。这样可以防止冷却盘管和法兰不会因为水压而导致受力不均而导致断裂，漏水。
3.螺丝的材质
螺丝材质分很多种：黑铁，不锈钢304，不锈钢316，钛，PIEK等等，我厂常用的就是这五种。一般情况下tank槽内不会使用黑铁材质的螺丝，会使用piek，钛，不锈钢等比较少用到的螺丝。在这其中钛的抗酸碱的能力最强，其次是piek和不锈钢。由于蚀刻机的特殊性无法使用不锈钢材质的螺丝，钛是稀有金属的一种，价格十分的昂贵，所以我们公司选用性价比比较高的piek螺丝。
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