科赋乐3660流量计的调试(附件)【字数：5955】
MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计（以下简称TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
目录
引言 1
一、概 要 2
（一）动作原理 2
（二）外形尺寸图 2
二、构 成 3
（一）质量流量控制器的构成 3
（二）质量流量控制器电路图 3
（三）注意事项 4
三、流量计半成品的选型及调试 4
（一）根据流体、流量选择临时机体 4
（二）调整流量计的参数 4
（三）SFC阀门单元创建/组装 4
（四）确认是否存在内部泄露 4
（五）预装模块3660连接CR400 5
（六）测试器和内线监视器临时组装3660连接。 5
（七）响应性、波形 5
（八）确认阀门是否翻转 5
四、流量计的附加检查及安装 6
五、二次调试参数 8
六、流量计参数检查 10
七、铭牌 10
八、操作方面的注意事项 10
（一）铭板的确认 10
（二）搬运方面的注意事项 11
（三）产品保管方面的注意事项 11
九、设置 11
十、 操 作 12
（一）预 热 12
（二）零点?量程校正 12
（三）运 转 13
（四）使用时的注意事项 13
十一、保养 14
总结 15
致谢 16
参考文献 17
引言
地球环境 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: ^351916072#
被空气（气体）与水（液体）包围。而测量、控制甚至制造这些气体与液体的技术对社会与工业的发展是不可或缺的。也可以说是人类永远的课题。我所写的内容是对科赋乐3660流量计的调试工艺及维护安装的说明阐述。综合了公司的有关资料，我相信可以的流量计有一个正确认识。
一、概 要
质量流量控制器 MODEL3660，用螺线管执行器确保高可靠性，是根据研究开发用途，作为各种分析仪器、真空装置的标准采用设备，可在范围广泛的各种领域使用的电子式质量流量控制器。作为各种气体的质量流量计测、质量流量控制设备使用。
（一）动作原理
流量检测传感器，在金属细管的外侧的 2 个位置卷绕了发热感温阻抗线。气体流过该细管时，上游的阻抗线夺取气体的热，温度下降。下游侧，上游的热传递过来，各自的阻抗值产生偏差。
这两处的温度差与气体的流量成正比，利用该温度差，演算流量，使得电气信号化。
此外，通过在传感器管上安装使得部分流量分流的旁路毛细管，可以限制流过传感器的气体流量，大范围地使用在各种流量领域。
质量流量控制器 MODEL3660，是在上述内容上进一步增加了控制功能的产品，通过流量设定器（指令），比较流量设定信号和流量传感器的流量信号，控制施加在螺线管执行器上的电流驱动。
阀门是常闭型的控制管，当没有打开电源时，处于已关闭流路的状态。(不是用于补偿流路的全截断)
（二）外形尺寸图
质量流量控制器 MODEL3660
/
图11流量计尺寸图
/
图12通信接线示意图
二、构 成
（一）质量流量控制器的构成
使得质量流量控制器(MODEL3660 系列)运转所需的电源电压、容量 ，直流额定电压电源 DC±15V(±2%) +100mA?250mA 。
外围设备：
1.DC 电源 PSK1FB AC85~132V(50/60Hz)
2.流量显示器 DPM3 DC+5V±5% 120mA
3.流量设定器 CK1A (阻抗值 10kΩ)
4.专用连接电缆式
（二）质量流量控制器电路图
例：将 MODEL3660 系列与 PSK1FB 和 DPM3 组合在一起时
/
图21质量流量计控制图
（三）注意事项
1．质量流量控制器，请使用洁净的、干燥的气体。干燥的条件，设定为大气压下20℃以下的露点。
2．在气体入口侧内置了 100 微米的过滤器，但在容易产生灰尘、烟雾等的管线上使用时，为了在前段即可清除，设置 10 微米左右的过滤器?
3．请在质量流量控制器的气体断流器上安装断流阀。
*质量流量控制器的控制阀是“常闭式规格”，但请不要让其代替断流阀使用。
三、流量计半成品的选型及调试
（一）根据流体、流量选择临时机体
临时组3660连接CR400 ，调整0点（VR3），±调节 看VR3 能否正常调节。
拆下前后外壳 , 抄写主板编号、气体 、流量大小 用螺母固定主板。
（二）调整流量计的参数
以临时组3660+基准器DF的顺序串联设置，用基准器控制制作3660的FS流量，用于临时组3660测量流量。用VR4流量临时调整5.0V(FS)。没有供给压力指定的情况下，以0.1MPa实施。
目录
引言 1
一、概 要 2
（一）动作原理 2
（二）外形尺寸图 2
二、构 成 3
（一）质量流量控制器的构成 3
（二）质量流量控制器电路图 3
（三）注意事项 4
三、流量计半成品的选型及调试 4
（一）根据流体、流量选择临时机体 4
（二）调整流量计的参数 4
（三）SFC阀门单元创建/组装 4
（四）确认是否存在内部泄露 4
（五）预装模块3660连接CR400 5
（六）测试器和内线监视器临时组装3660连接。 5
（七）响应性、波形 5
（八）确认阀门是否翻转 5
四、流量计的附加检查及安装 6
五、二次调试参数 8
六、流量计参数检查 10
七、铭牌 10
八、操作方面的注意事项 10
（一）铭板的确认 10
（二）搬运方面的注意事项 11
（三）产品保管方面的注意事项 11
九、设置 11
十、 操 作 12
（一）预 热 12
（二）零点?量程校正 12
（三）运 转 13
（四）使用时的注意事项 13
十一、保养 14
总结 15
致谢 16
参考文献 17
引言
地球环境 *好棒文|www.hbsrm.com +Q: ^351916072#
被空气（气体）与水（液体）包围。而测量、控制甚至制造这些气体与液体的技术对社会与工业的发展是不可或缺的。也可以说是人类永远的课题。我所写的内容是对科赋乐3660流量计的调试工艺及维护安装的说明阐述。综合了公司的有关资料，我相信可以的流量计有一个正确认识。
一、概 要
质量流量控制器 MODEL3660，用螺线管执行器确保高可靠性，是根据研究开发用途，作为各种分析仪器、真空装置的标准采用设备，可在范围广泛的各种领域使用的电子式质量流量控制器。作为各种气体的质量流量计测、质量流量控制设备使用。
（一）动作原理
流量检测传感器，在金属细管的外侧的 2 个位置卷绕了发热感温阻抗线。气体流过该细管时，上游的阻抗线夺取气体的热，温度下降。下游侧，上游的热传递过来，各自的阻抗值产生偏差。
这两处的温度差与气体的流量成正比，利用该温度差，演算流量，使得电气信号化。
此外，通过在传感器管上安装使得部分流量分流的旁路毛细管，可以限制流过传感器的气体流量，大范围地使用在各种流量领域。
质量流量控制器 MODEL3660，是在上述内容上进一步增加了控制功能的产品，通过流量设定器（指令），比较流量设定信号和流量传感器的流量信号，控制施加在螺线管执行器上的电流驱动。
阀门是常闭型的控制管，当没有打开电源时，处于已关闭流路的状态。(不是用于补偿流路的全截断)
（二）外形尺寸图
质量流量控制器 MODEL3660
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图11流量计尺寸图
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图12通信接线示意图
二、构 成
（一）质量流量控制器的构成
使得质量流量控制器(MODEL3660 系列)运转所需的电源电压、容量 ，直流额定电压电源 DC±15V(±2%) +100mA?250mA 。
外围设备：
1.DC 电源 PSK1FB AC85~132V(50/60Hz)
2.流量显示器 DPM3 DC+5V±5% 120mA
3.流量设定器 CK1A (阻抗值 10kΩ)
4.专用连接电缆式
（二）质量流量控制器电路图
例：将 MODEL3660 系列与 PSK1FB 和 DPM3 组合在一起时
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图21质量流量计控制图
（三）注意事项
1．质量流量控制器，请使用洁净的、干燥的气体。干燥的条件，设定为大气压下20℃以下的露点。
2．在气体入口侧内置了 100 微米的过滤器，但在容易产生灰尘、烟雾等的管线上使用时，为了在前段即可清除，设置 10 微米左右的过滤器?
3．请在质量流量控制器的气体断流器上安装断流阀。
*质量流量控制器的控制阀是“常闭式规格”，但请不要让其代替断流阀使用。
三、流量计半成品的选型及调试
（一）根据流体、流量选择临时机体
临时组3660连接CR400 ，调整0点（VR3），±调节 看VR3 能否正常调节。
拆下前后外壳 , 抄写主板编号、气体 、流量大小 用螺母固定主板。
（二）调整流量计的参数
以临时组3660+基准器DF的顺序串联设置，用基准器控制制作3660的FS流量，用于临时组3660测量流量。用VR4流量临时调整5.0V(FS)。没有供给压力指定的情况下，以0.1MPa实施。
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