激光光刻机控制系统(总体设计)毕业论文或毕业设计说明书
目 录
一、绪论-----------------------------------------------------------------------------------------------------------5
（一）本课题的研究背景和意义 ---------------------------------------------------------------------------5
（二）光刻机硬件结构和工作原理--------------------------------------------------------------------------5
（三）课题来源--------------------------------------------------------------------------------------------------6
（四）光刻机的主要技术指标--------------------------------------------------------------------------------6
（五）本设计的主要工作--------------------------------------------------------------------------------------6
二、总体方案设计--------------------------------------------------------------------------------------- *好棒文|www.hbsrm.com +Q: %3^5`1^9`1^6^0`7^2#
--------8
（一）激光光刻机控制系统总体设计要求-----------------------------------------------------------------8
（二）动态曝光原理--------------------------------------------------------------------------------------------8
（三）激光光刻机控制系统的总体框图设计--------------------------------------------------------------9
（四）系统抗干扰设计-----------------------------------------------------------------------------------------9
（五）控制系统输入输出通道设计--------------------------------------------------------------------------10
三、硬件设计-----------------------------------------------------------------------------------------------------11
（一）X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路---------------------------------------------------------------11
（二）直线电机控制电路--------------------------------------------------------------------------------------16
（三）交流伺服控制电路--------------------------------------------------------------------------------------17
（四）曝光控制电路--------------------------------------------------------------------------------------------17
（五）通信接口电路--------------------------------------------------------------------------------------------19
（六）单片机复位电路-----------------------------------------------------------------------------------------19
（七）电源电路--------------------------------------------------------------------------------------------------19
四、PCB设计与制作---------------------------------------------------------------------------------------------20
五、控制系统的软件设计--------------------------------------------------------------------------------------25
（一）控制系统的软件设计要求-----------------------------------------------------------------------------25
（二）控制系统软件的总体设计-----------------------------------------------------------------------------25
（三）控制器与上位机的通信--------------------------------------------------------------------------------26
（四） 1号单片机程序设计----------------------------------------------------------------------------------26
（五） 2号单片机程序设计----------------------------------------------------------------------------------28
六、结论-----------------------------------------------------------------------------------------------------------30
七、总结-----------------------------------------------------------------------------------------------------------30
一、绪论-----------------------------------------------------------------------------------------------------------5
（一）本课题的研究背景和意义 ---------------------------------------------------------------------------5
（二）光刻机硬件结构和工作原理--------------------------------------------------------------------------5
（三）课题来源--------------------------------------------------------------------------------------------------6
（四）光刻机的主要技术指标--------------------------------------------------------------------------------6
（五）本设计的主要工作--------------------------------------------------------------------------------------6
二、总体方案设计--------------------------------------------------------------------------------------- *好棒文|www.hbsrm.com +Q: %3^5`1^9`1^6^0`7^2#
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（一）激光光刻机控制系统总体设计要求-----------------------------------------------------------------8
（二）动态曝光原理--------------------------------------------------------------------------------------------8
（三）激光光刻机控制系统的总体框图设计--------------------------------------------------------------9
（四）系统抗干扰设计-----------------------------------------------------------------------------------------9
（五）控制系统输入输出通道设计--------------------------------------------------------------------------10
三、硬件设计-----------------------------------------------------------------------------------------------------11
（一）X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路---------------------------------------------------------------11
（二）直线电机控制电路--------------------------------------------------------------------------------------16
（三）交流伺服控制电路--------------------------------------------------------------------------------------17
（四）曝光控制电路--------------------------------------------------------------------------------------------17
（五）通信接口电路--------------------------------------------------------------------------------------------19
（六）单片机复位电路-----------------------------------------------------------------------------------------19
（七）电源电路--------------------------------------------------------------------------------------------------19
四、PCB设计与制作---------------------------------------------------------------------------------------------20
五、控制系统的软件设计--------------------------------------------------------------------------------------25
（一）控制系统的软件设计要求-----------------------------------------------------------------------------25
（二）控制系统软件的总体设计-----------------------------------------------------------------------------25
（三）控制器与上位机的通信--------------------------------------------------------------------------------26
（四） 1号单片机程序设计----------------------------------------------------------------------------------26
（五） 2号单片机程序设计----------------------------------------------------------------------------------28
六、结论-----------------------------------------------------------------------------------------------------------30
七、总结-----------------------------------------------------------------------------------------------------------30
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